抑制高速常驻永磁直线电机（pmlm）推力波动控制算法的研究[外文翻译].doc

附件C：译文
控制，自动化和系统的国际会议，
2007年10月17至20，韩国，首尔，COEX.

抑制高速常驻永磁直线电机（PMLM）推力波动控制算法的研究
京全金，杨满崔，郑宰全，大甲Gwoen（韩国高级科学和技术研究所，机械工程系，
Deajeon ，韩国，电话+82-42-869-8763; E-mail: holy-x-mas@kaist.ac.kr）

摘要：永磁体直线电机（ PMLM ）通常用于高精度运动，然而，推力波动影响高速常驻永磁电机的准确性，并且恶化系统的伺服性能。为了实现更精确的运动性能，有必要消除高速常驻永磁电机的推力波动。通过实验，推力波动可分为通行伺服期和独立期，我们首先证明找到一个用傅里叶级数表示的推理波动模型，用来补偿推力波动的前馈控制器。拟议的控制计划命名为由前馈控制器和RLSE （递归最小二乘估计）自适应控制器组成的混合控制器。前馈控制器补偿推力波动中的通行独立组件，而RLSE （递归最小二乘估计）自适应控制器补偿推力波动中的通行伺服组件。混合控制器的性能通过仿真和实验来验证。

关键词：推力波动，高速常驻永磁电机，RLSE （递归最小二乘估计），混合控制器

1、引言
PMLM （永磁直线电机）广泛用于半导体制造工艺和需要高精度检测的晶圆或液晶工艺。最近，由于这些加工过程中的技术已经开发，因此，就需要如速度快，精度高和远距离运动的详细说明书。为了实现高速度，直线电机应该有一个大的推力，因此它就将充分利用核心类型PMLM。一般来说，高精密定位系统采用直线电机芯，但最大推力芯直线电机是限制，因此，为了实现高精确度，我们设计一个控制方案，以减少系统包括不可避免的推力波动的干扰。
由傅里叶分析的推力波动可分为视为齿槽力的通行独立期视和视为相互纹波的长期伺服期。通行的伺服期随着持续增加的重量，速度，和摩擦力而增加。本