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真空获得与真空镀膜实验报告


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真空获得与真空镀膜

实验报告
实验目的
了解真空技术的基本知识；
掌握低，高真空的获得和测量的基本原理及方法；
了解真空镀膜的基本知识；
学习掌握蒸发镀膜的基本原理和方法。

实验原理
真空泵简介
（1）机械泵
机械泵通过不断改变泵内吸气空腔的容积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀压缩从而获得真空，常用的是旋片式机械泵。