微电子机械系统技术概述.doc

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微电子机械系统技术概述,[摘要] 作为一种新兴的技术，微电子机械技术蕴含着多学科的知识，在机械的制造与加工方面发挥了重要的作用。本文重点阐述了微电子机械系统的相应概念，微电子机械系统的加工工艺和微电子机械糸统技术国内外研究现状及发展趋势。[关键字] 微电子；机械；系统；趋势随着技术的进步和各个学科的交叉..
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微电子机械系统技术概述

[摘要] 作为一种新兴的技术，微电子机械技术蕴含着多学科的知识，在机械的制造与加工方面发挥了重要的作用。本文重点阐述了微电子机械系统的相应概念，微电子机械系统的加工工艺和微电子机械糸统技术国内外研究现状及发展趋势。

[关键字] 微电子；机械；系统；趋势

随着技术的进步和各个学科的交叉，微电子技术作为一种新型的

技术在各行各业得到了广泛的应用，特别是对机械制作与加工行业起

到了积极的促进作用。微电子机械系统是在传统的机械加工工艺基础

上，结合软X 射线深层光刻电铸成型工艺和半导体硅微机加工工艺进

行的器件制作的系统，在微电子机械的加工中占据重要的地位。