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在ELID磨削中利用软件补偿加工非球面的在机轮廓测量系统的发展研究
摘要
高效准确尺寸的硬脆材料光学表面制造是一个被重大关切的光电产业。用修整(ELID镜面)研磨这种方法可以使硬脆材料表面的光洁度达到纳米级。除了表面光洁度外,改善非球面镜的外形和形式尺寸精度也是很重要的,动力学通常被认为是影响机械零件加工准确度的因素之一。软件是直接和经济的方法来克服一些运动的因素及改善尺寸精度的方法之一。最后也是最重要的一点对取得的表面轮廓的监测,以确保已完成的部分的半径更准确。所以以上机剖面测量系统基于三坐标测量机(CMM)的原则已被检查而且运用到地面的剖面半径。在这项研究中采用的软件弥补ELID镜面磨削非球面表面,以弥补车轮磨损表面轮廓测量的误差,直到BK7玻璃达到腀@惺艿南薅取Ⅻbr>