机床外文文献翻译.rar

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超精密机床的设计及其在制造小型和微型元件方面的应用

摘要
　　　目前，在小型/微型产品的超精密加工中，基本必需品的可预测性，可生产性和生产效率是个大问题。快速而又经济的制造带有复杂结构的小型/微型产品的需求也为超精密机床设计带来了新的挑战。本文将通过描述超精密机床的重要机械零件的机床的设计过程来介葽@芑驳纳杓啤Ｖ氐慊毓撕推兰哿俗钕冉某芗庸すぞ摺Ｍ敝な盗诵⌒�/微型产品的应用前景。本文也指出了有关机床发展，模具，工件材料和加工工艺的趋势。

关键词：超精密仪器设计；超精密加工；小型/微型部件生产；三维微结构及装置；替补型超精密仪器