外文翻译之三维nd：yag激光烧蚀成形的精度控制.rar

三维ND：YAG激光烧蚀成形的精度控制

摘要：三维激光成形的关键问题是：在不降低材料去除效率的同时提高沿光轴方向的尺寸精度。本文通过直接使用加工光作为非接触激光三角测量装置的测量光来描述了三维激光成形的概念。由于高能量测量照片以及1.06um带通滤波器的存在，可以有效的避免由烧蚀表面可见光发射所造成的干扰，激光脉冲的发生与测量之间不会延时。所以测量将不会降低材料的去除率和生产力。通过使用这个系统，当SI3N4陶瓷的材料去除率为4.0*10^(-2)mm^3/sec时加工的精度将达到30um，而这两者都优于以前的试验结果。
关键字：激光成形 ；激光加工；精度