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氮化硅(snm)存储器.ppt

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氮化硅(snm)存储器,编程过程 中,电子通过sio2和部分si3n4的 fn隧穿、与电荷陷阱态间的直接隧穿、从电荷陷阱态的pf发射是主要输运机制 进入到氮化硅的电子进入到陷阱态第1项是p-f发射,第2项是陷阱电子的隧穿场发射,第三项是低场限制电路en是氮化硅中的电场,e2是陷阱能级
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编程过程 中,电子通过SiO2和部分Si3N4的 FN隧穿、与电荷陷阱态间的直接隧穿、从电荷陷阱态的PF发射是主要输运机制
进入到氮化硅的电子进入到陷阱态
第1项是P-F发射,第2项是陷阱电子的隧穿场发射,第三项是低场限制电路En是氮化硅中的电场,E2是陷阱能级
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