基 于m em s技 术 的 氧 气 微 传 感 器 机 理 研 究 与 设.doc

基 于 M EM S技 术 的 氧 气 微 传 感 器 机 理 研 究 与 设 计
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摘 要 ：
采 用 溶 胶 一凝 胶 (Sol-ge1)法 制 备 氧 敏 感 膜 ，并 对 其 不 同 的 药 品 配 比 进 行 成 膜 质 量 与 响 应 时 间 的 测 试 与 比 较 。设 计 一 系列 实验 对 该 传 感 器 的 氧 敏 感 机 理 进 行 研 究 。 结 合 MEMS技 术 ，设 计 MOSFET 氧 气 微 传 感 器 结 构 ，在 器 件 中 集 成 了加 热 元 件 和 测 温 元 件 。 实 验 结 果 表 明 ：该 传 感 器 响 应 时 间 快 ，有 较 高 的 灵 敏 度 ，较 好 的 重 复 性 、选 择 性 和 稳 定 性 。 该 传感 器 的机理 研 究与 设计 为基 于 MEMS技 术的 氧 气微传 感 器的 深入研 究提供 一 定 的参 考 。
关 键 词 ：氧 气 ；MEMS；微 传 感 器

目录

1 引 言
2 原 理 与 实 验
3 MEMS氧 气 微 传 感 器
4 加 热 元 件 与 测 温 元 件 的 设 计
5 总结