纳米多孔硅的形貌控制合成及其表征.doc

纳米多孔硅的形貌控制合成及其表征


摘要：随着人们对多孔硅材料的研究，多孔硅在生物医学，太阳能电池，光子器件和传感器等领域得到了广泛的应用。以多孔硅为对象的相关研究为当今国际凝聚态物理和材料、化学、生物等研究领域中的热点。多孔硅在这些领域中的应用与它的孔隙率、形貌特征和光致发光性能有关。本文采用电化学腐蚀法制备纳米多孔硅，采用SEM技术分析多孔硅的表面形貌，研究了腐蚀条件对多孔硅的孔隙率、厚度、孔径以及光致发光性能的影响。结果表明，多孔硅的孔隙率随着腐蚀电流密度和腐蚀时间的增加而呈线性增大趋势，其厚度随着腐蚀电流密度的增加而呈近似线性增大趋势，随腐蚀时间的成倍增加而显著增大