不同退火温度对azoagfto薄膜光电性能的影响.doc

不同退火温度对AZO/Ag/FTO薄膜光电性能的影响


2.4万字 39页 原创作品，已通过查重系统

目 录
摘要 I
Abstract II
第1章 绪论 1
1.1 透明导电氧化物薄膜概述 1
1.1.1 Al掺杂氧化锌材料(AZO)的结构，性质和发展 2
1.1.2 F掺杂氧化锡材料(FTO)的结构，性质和发展 4
1.2 薄膜的制备方法 4
1.2.1 磁控溅射法 6
1.2.2 溶胶-凝胶法 5
1.2.3 真空蒸镀法 6
1.2.4 化学气相沉积(CVD)法 6
1.2.6 其他制备法 7
1.3 提高薄膜性能的重要工艺(退火) 9
1.3.1 退火种类...............................................................................................................9
1.3.2 退火对薄膜性能影响...........................................................................................9
1.4 本课题的目的、意义和研究内容 10
第2章 AZO/Ag/FTO薄膜热退火处理 11
2.1 实验的设计 11
2.2 实验部分 11
2.2.1 实验材料和仪器 11
2.2.2 实验仪器 11
2.2.3 实验样品的预处理 13
2.3 薄膜的制备方法 14
2.3.1 FTO基片表面镀膜 14
2.4 结果分析与讨论 15
2.4.1 薄膜的生长模式及过程 15
2.4.2 分步退火对AZO/Ag/FTO薄膜表面形貌的影响 16
2.4.3 整体退火对AZO/Ag/FTO薄膜表面形貌的影响 17
2.5 本章小结 18
第3章 AZO/Ag/FTO薄膜光电性能测试与分析 20
3.1 样品性能测试 20
3.1.1 紫外可见分光光度计 20
3.1.2 四探针测试仪 21
3.2 结果分析与讨论 22
3.2.1 分步退火中不同退火温度对薄膜光电性能影响 22
3.2.2 整体退火中不同退火温度对薄膜光电性能影响 25
3.2.3 不同薄膜样品的品质因子值 26
3.3 本章小结 26
第4章 结论与展望 28
4.1 结论 28
4.2 展望 28
致 谢 30
参考文献 31



摘要：三层复合薄膜由于其良好性能越来越受到关注。而AZO/Ag/FTO三层复合薄膜作为其中一种，其优化制备技术（退火）成为目前研究热点，但目前对于该方面的报道较少，很多性能参数不够详尽，因此，本文在不同退火条件下采用不同退火温度对AZO/Ag/FTO三层复合薄膜进行退火，研究对其光电性能的影响，获得足够详尽综合的数据，通过SEM、紫外-可见分光光度计、四探针测试仪对薄膜的形貌与性能进行表征和分析，探讨了不同工艺参数对薄膜的光学、电学性能的影响，还估算了不同薄膜的品质因子。主要结论如下：
与未退火处理过的AZO/Ag/FTO多层复合薄膜相比，退火处理过的样品具有更高的透光率。同时分步退火和整体退火得到样品的光学性能不尽相同，在分步退火手段下，450 ℃退火温度下的样品具有最优透光率。与未退火样品相比，所有退火的AZO/Ag/FTO薄膜方块电阻值明显下降，同时在500 ℃下分步退火的薄膜样品具有最低的方块电阻，为4.9 Ω/□。实验中，在450 ℃下分步退火的AZO/Ag/FTO薄膜的品质因子最大，为4.78×10-3 Ω-1，表明该薄膜具有最佳的综合光电性能。

关键词：AZO/Ag/FTO薄膜 磁控溅射 退火 光电性能 品质因子